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　　激光干涉仪是以激光为长度基准，精确测量位置精度(定位精度、重复定位精度等)的精密测量仪器。)和几何精度(螺距和扭转角、直线度、垂直度等。)的数控设备(加工中心、三坐标测量机等。).

　　激光干涉仪是一种通用的长度测量工具，它利用激光波长作为已知长度，利用迈克尔逊干涉系统来测量位移。激光干涉仪有单频和双频两种。单频出现在60年代中期。它首先用于检定基准线尺，然后用于在测量室精确测量长度。

　　双频激光干涉仪是年出现的，适合车间使用。激光干涉仪非常接近标准状态(温度20℃，大气压,Pa，相对湿度59%，CO2含量0.03%)，测量度非常高，达到1×10。

　　单频激光干涉仪激光器发出的光束经扩束准直后被分光镜分成两路，分别从固定镜和活动镜反射，在分光镜上相遇产生干涉条纹。当可动镜运动时，干涉条纹的光强变化被接收器中的光电转换元件和电子电路转换成电脉冲信号，经整形放大后输入可逆计数器，计算出脉冲总数。然后根据计算公式[-11]，λ为激光波长(n为电脉冲总数)，由电子计算机计算出可动镜的位移L。

　　使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流会引起DC水平的变化，影响测量结果。在He-Ne激光器上，施加大约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应，激光器产生1和2种不同频率的**和右旋圆偏振光。

　　通过1/4波片后成为两束相互垂直的线偏振光，然后被分束器分成两路。在通过偏振器1之后，它变成具有频率f1-f2的参考光束。另一路经过偏振分束器后分为两路:一路成为只含f1的光束，另一路成为只含f2的光束。当可动镜运动时，含f2的光束被可动镜反射，变成含F2的光束δf，δf是可动镜运动时多普勒效应产生的附加频率，符号表示运动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波源或接收器运动时，波的频率会发生变化)。该光束和由固定反射镜反射的仅包含f1光的光束穿过偏振板2，并组合成F1-(F2δf)的测量光束。